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洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完好统计,洁净室的能耗是普通写字楼的10~3o倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kw/m2~2.63kw/m2,而耗能1.48kw/m2~1.93kw/m2)。以上海某名芯片厂为例,净化工程,其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护,假设将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。

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因此大部分的洁净车间尤其电子工业用的洁净厂房都是有严格的恒温、恒湿的要求。他们不仅对厂房内的温、湿度有严苛的要求,而且对相对湿度与温度的波动范围也是有具体的要求。
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